設備改造及技術服務
實績
| 設備種類 | 類別 | 改善項目 | 案例簡介 | 實績 |
|---|---|---|---|---|
| 濺鍍設備(PVD) | 製程 | Rs 均勻性改善 | PVD Cathode設計/磁石更新改造/磁場調整 | 超過180件 |
| 真空系統 | Particle改善/真空度改善 | PVD Pumping line/Vent line改造/Cryo Pump安裝 | ||
| 傳送 | 傳送Particle改善 | 低摩擦係數材料選用/傳送機構更新設計 | ||
| 機電整合 | DC Power Supple 更換/Heater功能/冷卻系統 | A社 & U社電源更換/Heater安裝/冷卻功能強化 | ||
| 化學氣相沉積(PECVD) | 製程 | 膜厚均勻性改善 | 軟磁性材料安裝 | |
| 真空 | Particle改善 | Gas Diffusion Head/Pumping line/Vent line改造 | ||
| 檢查設備 | 部品更換 | Lamp更換 | A公司檢查設備Lamp更換 | |
| 光罩清洗設備 | 組裝服務 | 設備模組組裝 | EUV Mask 光罩清洗機模組安裝 |
傳送系統改善案 改造部品
改造前
改造後
PECVD LL Chamber RV改造
