設備改造及び技術サービス
実績
| 装置 | 分類 | 改善内容 | 事例紹介 | 実績 |
|---|---|---|---|---|
| スパッタ装置(PVD) | プロセス | Rs分布改善 | Cathode設計/マグネット更新/磁場調整 | 180件以上 |
| 真空システム | Particle改善/真空度改善 | Pumping line/Vent line改造/Cryo Pump追加 | ||
| 搬送系 | 搬送Particle改善 | 低摩擦係数素材使用/搬送機構再設計 | ||
| メカトロニクス | DC電源改造/Heater追加/冷卻系統改善 | A社とU社の電源更換/Heater追加/冷却効果強化 | ||
| プラズマCVD (PECVD) |
プロセス | 膜厚分布改善 | パーマロイユニットを装着 | |
| 真空システム | Particle改善 | Gas Diffusion Head/Pumping line/Vent line改造 | ||
| 検査装置 | 部品更換 | ランプ交換 | A社検査装置用ランプ交換 | |
| EUVマスクマスク洗浄装置 | 組立サービス | モジュール組立 | EUVマスクマスク洗浄機モジュール組立 |
搬送システム改善案 改造部品
改造前
改造後
PECVD LL Chamber RV改造
